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用于残余气体分析的四极杆质谱单元(模组)
至秦仪器自主研发,基于电子轰击离子源(EI)和四极杆质谱分析技术。产品结构紧凑,具有可靠稳定、检测速度快、操作简便、易于维护等特点,满足气体分析、检漏和污染监测等工业现场分析需求,特别适用于电池生产过程电解液泄露检测、水含量分析,以及半导体生产过程反应气体分析等领域。该模组开放所有API,满足用户灵活搭建自动化分析系统和应用创新。
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