金兆益 NFA-C350i / NFA-i108s串联在线电子气体微量金属不纯物监测设备

Name: 金兆益 NFA-C350i / NFA-i108s串联在线电子气体微量金属不纯物监测设备
Brand: 金兆益
SKU: NFA-C350i / NFA-i108s

金兆益 NFA-C350i / NFA-i108s串联在线电子气体微量金属不纯物监测设备封面图

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品牌：金兆益产地：台湾型号：NFA-C350i / NFA-i108s 样本：来电或留言获取样本

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型号	品牌	PIPES指数
NFA-iSQ	金兆益	7

参数

设备种类：监测元素

供应商性质：生产商

产地类别：国产

产品介绍

NFA-C350i 串接NFA-i108s 实现智能AI 质检电子气体残留之元素(elements)，前端NFA-C350i 为气体转液体的样品吸收与进样用设备，后端NFA-i108s (with ICP-MS) 接收样品后进行分析与数据处理流程，透过AI 应用的机况自主管理，使检测流程更加得心应手。

NFA-C350i 和 NFA-i108s 串接，实现智能 AI 质检电子气体残留元素的检测。 NFA-C350i 作为前端设备，将气体转换为液体样品进行吸收和进样，而 NFA-i108s 则配备 ICP-MS，用于接收样品后进行分析和数据处理。整个检测流程通过 AI 应用的机况自主管理，使检测过程更加顺畅。这两款设备专为先进制程而设计，随着先进制程从湿式转向干式制程，包括氧化沉积和蚀刻制程，干式制程中使用的特殊气体和大宗气体作为反应原料变得至关重要。在应用制程之前，需要对这些原料进行严格的品质管理，以确保制程良率能够维持在规范水平。

用途	全自动化在线监测电子气体中残存之微量元素
适用电子气体	各式电子气体 / 特殊气体 / 大宗气体 (因电子气体吸收条件不同，建议专机专用)
监测物种	微量元素 (达 54 元素) (Al, As, Ba, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Li, Mg, Mn...)
搭配仪器	电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
监测能力	MDL < 1 ppt (视客户 ICP-MS 而定)
设备效能	• NFA-C350i 电子气体吸收稳定性: R²> 0.995 (以 WF₆ 为例) • 样品连续解析之稳定性：RSD <15% (以 SiF₄为例)
相关认证	SEMI S2

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