专注于为半导体相关厂务提供先进的 AI 离线解决方案，目的是使客户能够在不熟悉电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS/MS) 和离子色谱 (IC) 的情况下轻松执行高阶品管技术。 设备结合 AI 程控技术，协助客户完成繁琐的任务，进一步提升工作效率与生产力。                

高阶特用化学品/ 湿式电子化学品/ 电子湿化学品于半导体制程的各个阶段广泛应用，薄膜(thin film)、扩散(diffusion)、微影(photolithography)、蚀刻(etching) 及化学机械研磨 (CMP) 等制程皆参与其中。 随着高效运算需求的提升，半导体线宽尺寸逐渐缩小，此时需严格控制特用化学品之微污染残留，以确保不影响产品的良率水准。

IS-T10R 智能电子化学品品质监测整合设备：半导体厂务 AI 离线解决方案

智能 AI 判断功能

设备的智能 AI 设计能让实验室效率大幅提升，人员不需担心运作过程中任何突发状况发生。

• 逻辑式定量机制：当检量线未达设定标准，系统自动重新建立检量线。

• 机况自主管理：多笔样品分析过程会安插自动机况诊断机制，可能出现的状况有侦测器感度衰退、背景值污染等，针对不同定义将启动对应机制，例如常态感度衰退，则辅以修正系数。 以确保设备能产出可靠数据，并维持在最佳状态。

卓越的抗污染设计

为确保 IS-T10R 系统免受外部环境干扰，我们采取了一系列措施。 首先，将样品瓶放置区域设定为正压环境，同时配置抽风系统，正压环境不仅可以减少外部空气进入，亦可将可能逸散的化学物质引导至排风口，以确保环境空气保持洁净，避免 交叉污染。 此外，样品瓶的瓶口设计了特殊的闭锁瓶盖，实现了双重保护，确保化学物质在高度洁净的环境中运行。

1. 正压送风柜搭配抽风装置

2. 无硼滤网 (ULPA)

3. 防尘拉门

4. 封闭式的样品输送

实务应用

1. 化学品生产单元品质检测

2. 半导体厂务系统水质与废水检测

金兆益 IS-T10R智能电子化学品品质监测整合设备信息由金兆益科技股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于金兆益 IS-T10R智能电子化学品品质监测整合设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。