金兆益 NFA-ALIS 智能采气罐气态分子微污染分析设备

AMC 实验室智慧集成解决方案——AMC 采样后的分析与数据报告汇整可交由金兆益智能 AI 分析设备完成。 针对采气罐采集的样品，使用 NFA-ALIS 进行分析，能够准确测定制程环境中 MC/VOCs 物种的个别含量。 而对于冲击瓶吸收之样品，NFA-iSQ 智能主动控制离子层析仪 (IC) 进行高效解析。 这两套设备不仅能够涵盖检量线配置、样品前处理、样品分析，更能够自动生成数据报告，并进行智能机况确认。

半导体先进制程的极限竞赛不只考验研发能力，更涉及良率提升与放量生产的能力。 现今制程已发展至个位数奈米节点，工序多达数百至千道制程，当微污染掺入晶圆中导致良率受损时，该如何高效率回头检视多道制程的污染状况也是 赛局中的关键。

微污染控制部门进行 AMC 源头查找与改善程序时，通常会以采气罐 (Canisters) 和冲击瓶 (Impingers) 至多个可疑位置采集样品，于不同位置的同步采样可进一步了解 AMC 扩散状况。 收集到的多组样品送回实验室后，以气相层析质谱仪(GC-MS) 和离子层析仪(IC) 进行分析，例行流程包含样品前处理、高阶仪器操作、数值判定与 问题排除。 在步调相对快速的先进制程竞赛中，人工分析效率难以匹敌自动化。 因此，引入AMC 全能AI 助手，能轻松且高效地完成高技术含量的分析任务，一方面能让工程师有足够时间进行微污染与良率的相关性分析，另一方面，未来也能节省新进同仁 教育训练所花费的时间成本。

选择金兆益的「AMC 实验室智慧集成解决方案」，是优化分析效率的不二之选！

AMC 实验室智慧集成解决方案提供了完整的 AMC 采样器具和设备运作的分析方法。 当多组样品上样至设备端时，系统能够自动进行连续解析，让客户轻松等待最终的数据报告。

提供半导体专用之 AMC 采样工具

AMC 采样工具包括两种主要类型，分别为检测 MC/VOCs 所用的采气罐 (左) 以及应用于 MA/MB 酸碱分析的手持式冲击瓶模组 (右)。
为提供客户理想的 AMC 采样工具金兆益做足了功课。 以采气罐为例，我们挑选半导体产业口碑最佳之Restek 品牌，同时在出货前进行严谨筛选，包括长时间测漏试验、真空下表头指针数值品管等，若客户需要了解采气 罐洁净度，金兆益亦可提供COA 报告。

全面执行空气采样后的 AMC 分析程序

AMC 采样后的分析与数据报告汇整可交由金兆益智能 AI 分析设备完成。 针对采气罐采集的样品，使用 NFA-ALIS 进行分析，能够准确测定制程环境中 MC/VOCs 物种的个别含量。 而对于冲击瓶吸收之样品，NFA-iSQ 智能主动控制离子层析仪 (IC) 进行高效解析。 这两套设备不仅能够涵盖检量线配置、样品前处理、样品分析，更能够自动生成数据报告，并进行智能机况确认。

智能 AI 判断功能
设备的智能 AI 设计能让实验室效率大幅提升，人员不需担心运作过程中任何突发状况发生。

• 逻辑式定量机制：当检量线未达设定标准，系统自动重新建立检量线。

• 机况自主管理：多笔样品分析过程会安插自动机况诊断机制，可能出现的状况有侦测器感度衰退、背景值污染等，针对不同定义将启动对应机制，例如常态感度衰退，则辅以修正系数。 以确保设备能产出可靠数据，并维持在最佳状态。

实务应用

1. 半导体制程环境漏源查找：
   当 AMC 于半导体制程环境超标时，负责人需要在有限时间内迅速解决问题。 首先，必须找出 AMC 泄漏的源头。 负责人可在多个可疑位置使用采样罐或手持式冲击瓶同步采样，以确认 AMC 扩散方向。 接着，使用 NFA-ALIS 或 NFA-iSQ 进行高效连续解析，负责人根据数据报告的结果判断污染源头，并选择合适的方法进行处置。

1. 补强半导体制程未布点区域的 AMC 监测

2. 提升实验室与研发单位的产出效能

金兆益 NFA-ALIS 智能采气罐气态分子微污染分析设备信息由金兆益科技股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于金兆益 NFA-ALIS 智能采气罐气态分子微污染分析设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。