金兆益 NFA-iSQ 实验室微量元素配制自动进样辅助设备配套NFA-ALIS 智能采气罐气态分子微污染分析设备

NFA-iSQ 实验室微量元素配制自动进样辅助设备——专为半导体产业品管实验室与微污染控制部门所开发之 AMC 全能 AI 助手，专业分析技术与逻辑判断能力集成之解决方案。 协助客户连续解析于制程环境采集的多组样品，降低人为操作的数值偏差，同时提升分析效率。                

半导体先进制程的极限竞赛不只考验研发能力，更涉及良率提升与放量生产的能力。 现今制程已发展至个位数奈米节点，工序多达数百至千道制程，当微污染掺入晶圆中导致良率受损时，该如何高效率回头检视多道制程的污染状况也是 赛局中的关键。

微污染控制部门进行 AMC 源头查找与改善程序时，通常会以采气罐 (Canisters) 和冲击瓶 (Impingers) 至多个可疑位置采集样品，于不同位置的同步采样可进一步了解 AMC 扩散状况。 收集到的多组样品送回实验室后，以气相层析质谱仪(GC-MS) 和离子层析仪(IC) 进行分析，例行流程包含样品前处理、高阶仪器操作、数值判定与 问题排除。 在步调相对快速的先进制程竞赛中，人工分析效率难以匹敌自动化。 因此，引入AMC 全能AI 助手，能轻松且高效地完成高技术含量的分析任务，一方面能让工程师有足够时间进行微污染与良率的相关性分析，另一方面，未来也能节省新进同仁 教育训练所花费的时间成本。

选择金兆益的「AMC 实验室智慧集成解决方案」，是优化分析效率的不二之选！

AMC 实验室智慧集成解决方案提供了完整的 AMC 采样器具和设备运作的分析方法。 当多组样品上样至设备端时，系统能够自动进行连续解析，让客户轻松等待最终的数据报告。

提供半导体专用之 AMC 采样工具

AMC 采样工具包括两种主要类型，分别为检测 MC/VOCs 所用的采气罐 (左) 以及应用于 MA/MB 酸碱分析的手持式冲击瓶模组 (右)。
为提供客户理想的 AMC 采样工具金兆益做足了功课。 以采气罐为例，我们挑选半导体产业口碑最佳之Restek 品牌，同时在出货前进行严谨筛选，包括长时间测漏试验、真空下表头指针数值品管等，若客户需要了解采气 罐洁净度，金兆益亦可提供COA 报告。

全面执行空气采样后的 AMC 分析程序

AMC 采样后的分析与数据报告汇整可交由金兆益智能 AI 分析设备完成。 针对采气罐采集的样品，使用 NFA-ALIS 进行分析，能够准确测定制程环境中 MC/VOCs 物种的个别含量。 而对于冲击瓶吸收之样品，NFA-iSQ 智能主动控制离子层析仪 (IC) 进行高效解析。 这两套设备不仅能够涵盖检量线配置、样品前处理、样品分析，更能够自动生成数据报告，并进行智能机况确认。

智能 AI 判断功能
设备的智能 AI 设计能让实验室效率大幅提升，人员不需担心运作过程中任何突发状况发生。

• 逻辑式定量机制：当检量线未达设定标准，系统自动重新建立检量线。

• 机况自主管理：多笔样品分析过程会安插自动机况诊断机制，可能出现的状况有侦测器感度衰退、背景值污染等，针对不同定义将启动对应机制，例如常态感度衰退，则辅以修正系数。 以确保设备能产出可靠数据，并维持在最佳状态。

实务应用

1. 半导体制程环境漏源查找：
   当 AMC 于半导体制程环境超标时，负责人需要在有限时间内迅速解决问题。 首先，必须找出 AMC 泄漏的源头。 负责人可在多个可疑位置使用采样罐或手持式冲击瓶同步采样，以确认 AMC 扩散方向。 接着，使用 NFA-ALIS 或 NFA-iSQ 进行高效连续解析，负责人根据数据报告的结果判断污染源头，并选择合适的方法进行处置。

1. 补强半导体制程未布点区域的 AMC 监测

2. 提升实验室与研发单位的产出效能

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