CS (Chemical Station) 化学中心站配套NFA-i108s/c/p污染物监测系统，作为样品前处理设备并提供动力进行远程传送。

全球半导体制造现已进入工业 4.0 智慧制造的时代。 在这理念中，强调的不是创新技术，而是透过制造过程的智能数位化，将数据汇集于云端形成庞大的资料库，并透过大数据分析快速调整制程以应对产品变化。 这一概念在电子化学品品质管理上的应用，特化厂在上游确保生产过程无懈可击，同时下游半导体制造厂也能安心使用这些化学品。 在晶圆制程前的品质把关中，它更是提供多一层重要的最后防护，有效把关化学品品质，将微污染对良率的冲击机率降至最低。 这不仅有助于确保半导体制程的稳定性和可靠性，同时也有助于提高产品的生产效率，使整个半导体产业更具竞争力。

选择金兆益的「智能电子化学品在线品质监测系列: NFA-i108 series」助您创建智能源头管理程序。

建构于全自动化程控与智能 AI 结合

NFA-i108 series 将电子化学品品管程序转为全自动化，并导入智能 AI 判断技术，让客户在化学品品管上不需费心思守候。

• 自主机况管理机制：设备能够在多个流程阶段引入机况查核机制，例如在化学品批次之间进行查核，或是在检测后检视微污染超标情况时启动，以确保超标情况非系统误差所致。

• 智能远程排程控制：当化学品品质管理无法事先排程，例如槽车到达码头的时间不固定，使得检核顺序难以预先设定，此时可搭载远程控制中心进行操作。 在码头，操作者只需按下启动检核键，系统即会将该槽车品检安排至排程中，无需返回实验室进行主机操作。

• 设备安全警示机制：在半导体制程中，使用的化学品多为高度危险的强酸、强碱和有机溶剂。 为应对潜在的泄漏情况，设备在各关键点都设有泄漏侦测器。 一旦发生紧急情况，系统会立即停机，并自动发出警示通知，直接报告给客户厂区的管理系统。

卓越的抗污染系统

半导体超微量分析领域的浓度等级约莫落在 ppt (parts per trillion) 左右，鲜少业者能胜任此一高度专业服务技术，其中一个因素为污染难以控制。 一般抗污染的监测系统基本作法是挑选抗污染且不易残留的材料，并控制系统中污染源可能进入的对外口。 然而，NFA-i108 series 除了遵循这些基本作法外，进一步融入了额外的设计以提升其抗污染性能，内建三种控制污染源进入系统的方式：

• 封式管闭路：直接阻绝外部污染进入系统

• 内建智能化清洁程序：清洁程序经验证，确保执行完后样品残留量 < 1%

• 独立流路设计：独立流路设计分成「高通量运作模式 (High Throughput Operation Mode)」与「多重化学品检测模式 (Multi-Chemicals Detection Mode)」

整合超微量分析技术

拥有超微量分析技术的企业才能真正理解实际操作过程应专注的关键细节。 金兆益是以高阶化学分析技术起家，最早在 2014 年成为 ISO/IEC 17025 认证之测试实验室，后续拿下各式电子化学品之认证项目：

• C165 微量金属不纯物含量测定

• C166 微量阴离子不纯物含量测定

• C999 铁纳米粒子测定

实务应用

1. 半导体产业之槽车入料检 (IQC) 
   
   

2. 晶圆制程前之化学品储存与传送检核
   
   
   

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