金兆益 NFA-1007w 晶圆表面有机污染物监测设备

NFA-1007w：晶圆表面有机污染物解析的明日之星！

晶圆表面有机污染物分析无法全自动化应用于制程产线是业界长久以来的一大困境，NFA-1007w 的问世不仅扭转此一颓势，并聚焦晶圆缺陷位置。

                  
建构于全自动化程控与智能 AI 结合

NFA-1007w 拥有全自动化的操作程序，并结合智能 AI 的判断能力，符合智慧品管与制造的精神。 在过去的晶圆表面有机物分析中，通常需要透过采样管 (sample tube) 初步抓取待测物，然后人工将其转移到热脱附气相层析质谱仪（TD-GCMS）。 该仪器会进行加热以使待测物逸散，再由气流推动至 cold trap 汇集目标物，最后进行信息解析。

NFA-1007w 优化了这一流程，有机待测物直接由 NF-trap 汇集，然后进入质谱仪进行解析，无需人员参与。 整个过程可以100%由设备自动执行。

NFA-1007w 的智能 AI 功能应用于系统健康状态管理，设备运行过程中会嵌入自动机况诊断机制（如加热灯管寿命检测），以确保设备能够保持在最佳运行状态。

聚焦晶圆缺陷区域解析
当晶圆缺陷位置集中于一处时，全表面的有机物分析往往难以反应缺陷位置的具体状况，导致分析结果缺乏区域性质。 为了解决这个问题，NFA-1007w 的采样腔（NF-Quartz Chamber）扩增晶圆局部采样功能。 此外，选择阶段式程温更能细部了解不同温度区间的有机污染物种，使得数据结果更有助于故障分析和深入探讨。


实务应用

1. 故障分析部门或研发单位的晶圆缺陷成因查找 (R&D / Offline)

2. 制程阶段晶圆缺陷追查 (Production line / Inline)

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