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PNC 8寸单片式清洗设备
参考价：面议
品牌：至纯科技 产地：上海 型号：PNC 样本：来电或留言获取样本
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参数
| 供应商性质：生产商 | 产地类别：国产 |
产品介绍
8寸单片式清洗设备
占地面积小，模块化设计;
多种化学品兼容、可用作清洗、去胶、蚀刻等工艺，化学品利用率高;
可持续扩充单片chamber最佳流场设计，颗粒控制好。
关键应用
B clean
PR-strip
SiN removal
Post Al etch polymer removal
Post Via etch polymer removal
wafer recycle
技术特点
模组化设计
优化的传送机构
MaxWPH~400
较高的稳定性
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