NMC 508Gt 深槽刻蚀机

Name: NMC 508Gt 深槽刻蚀机
Brand: 北方华创
SKU: NMC 508Gt Deep Trench Etcher

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参考价：面议

品牌：‌北方华创‌ 产地：中国型号：NMC 508Gt Deep Trench Etcher 样本：来电或留言获取样本

北方华创科技集团股份有限公司

常见问题

参数

供应商性质：生产商

产地类别：国产

产品介绍

NMC 508Gt 深槽刻蚀机

NMC 508Gt Deep Trench Etcher

NMC 508Gt为高密度等离子体刻蚀机，适用6/8英寸硅深槽干法刻蚀工艺。拥有沟槽顶部圆化能力，具备优秀的形貌控制、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、低颗粒/缺陷等性能优势。该机台为多腔室集群设备，可全自动并行工艺、易维护、性能稳定、产能高、客户拥有成本低，适用于集成电路、功率半导体中深槽刻蚀工艺。

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