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红外气体传感器 Gasboard-2060 半导体行业薄膜沉积工艺CVD设备的EPD气体检测
参考价：￥9.00万~18.00万
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参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 | 检测原理：NDIR |
| 检测范围：1~264ppm(0~200mTorr) | 灵敏度：±0.5% |
产品介绍
产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2060
红外气体传感器产品概述
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器产品特性
使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
红外气体传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
应用领域
半导体行业薄膜沉积工艺CVD设备的EPD气体检测
武汉红外气体传感器厂家
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