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仪器简介:•在半导体及平面显示器产业中,激光zei常被应用在修整、修理、画线等制程上。 而工业量产上的设备往往被要求符合以下条件: C长时间的操作以及稳定性 C不受环境条件改变影响产出水平 C配合顾客的特殊需求可以增加功能 •SPICA产品主要提供给工业顾客使用,对于上述的要求我们不仅要求达到,对于 产品的设计皆从顾客需求与便利着手,如:轻巧、气冷式,提供优于其它竞争者 的产品 针对不同材料与应用,提供合适的产品 ・High repetition rate >>> High throughput (cf) flash lamp laser ・Compact >>> Advantage for applying to process system ・shorter wavelength >>> Applied to High-value added materials 技术参数:1.波长: 提供266nm, 355nm, 1064nm这三种波长 2.功率: 提供120mW到zei高5W 3.使用寿命: 10000小时 4.脉冲间隔: 10-25ns 主要特点:产品多样化选择(Versatility) 1.提供Nd:YAG及Nd:YVO4两种倍频晶体,满足加工时需要High repetition rate或High pulse energy的需求 2.以优异的倍频转换器技术,提供从IR到DUV不同波长的产品,满足不同材料与条件的加工 产品具高可靠度(High reliability) 以控制系统零件的温度、选择高质量的光学组件以及消除有害物质等方式,使产品具有高度可靠度,达到雷射在长时间操作下不需任何维护的目标 产品通过抗震测试(Durability against shock) 使用3D模具设计坚固的外壳并通过震动与晃动测试,使雷射得以在晃动或受到强烈震动下,仍能有稳定的产出能量 产品通过环境温度测试(Environmental durability) 以控制系统零件的温度、使用CAE分析热能测试规格以及进行环境测试等方式,使雷射当室温从20度提高至35度时,仍能提供稳定的产出能量
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