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技术参数
扫描器
XY扫描器
闭环控制XY平板扫描器
扫描范围:100μm x 100μm
50μm x 50μm
25μm x 25μm
20位位置控制和24位位置传感器
Z扫描器
导向强力Z扫描器
扫描范围:15μm
30μm
视场&CCD
同轴光源设计
10倍光学物镜和数码放大
光学物镜视场:840μm x 630μm
CCD:5MP
光学物镜
10X(0.21 NA)超长工作距离镜头的物镜
20X(0.42 NA)高分辨率,长工作距离镜头的物镜
软件
SmartScan
专用系统控制和数据采级软件
智能扫描模式
通过外部程序控制脚本级别(选配)
NXI
AFM数据分析软件
电性能
信号处理
ADC:18通道
ADC通道(64MSPS)
24-bits ADC的X,Y和Z扫描器位置传感器
DAC:12通道
20bits DAC的X,Y和Z扫描器定位
最大数据量:4096X4096像素
集成功能
3通道数字锁相放大器
探针弹性系数校准(热方法)
数据Q控制
外部信号访问
20个嵌入式舒输入/舒出口
5个TTL输出:EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias
选项/模式
成像模式
■真正非接触模式
■接触模式
■侧向摩擦力显微术(LFM)
■相位成像
■轻敲模式
电学特性测量
■扫描电容显微镜(SCM)
■导电原子力显微镜
■静电力显微镜(EFM)
■压电力显微镜(PFM)
■扫描开尔文探针显微镜(SKPM/KPM)
■压电力显微镜PFM
一般特性
■磁力显微镜(MFM)
■扫描热感显微镜(SThM)
■力一距离(F-D)曲线
■扫描隧道显微镜(STM)
■力调制显微镜(FMN)
■纳米压痕
■纳米刻蚀
■纳米操控
选项
■样品基座
■具有温控性能的隔音罩
■液体探手
■液池
■温控台
■外部偏置模块
■信号获取模块
运动位移平台
XY行程范围:150mm(200mm选配)
Z行程范围:25mm
XY载台马达位移机械分辨率为1μm,重复率为2μm
Z向马达位移机械分辨率为0.1μm,重复率为1μm
样品基座
样品最大尺寸:150mm(200mm选配)
真空样品吸附
帕克 NX20 300 mm 原子力显微镜 电气和磁故障分析,Park NX20 300 mm
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