仪器简介: 英国Quorum/Emitech溅射离子镀膜仪作为世界顶级制样设备,在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的样品制备领域中应用非常广泛。 特点 •低电压溅射 •高分辨率精细涂层(金颗粒达2 nm) •均匀厚度沉积(扫描电镜一般厚度为20nm 或200A) •165 mm(6英寸)腔室 •无需冷却样品台 •精确的再次涂层 •膜厚度重复性好 •容易装载或卸载样品 •可预设沉积厚度 仪器性能指标 1.Instrument Case - 450mm W x 350mm D x 175mm H 仪器尺寸450mm W x 350mm D x 175mm H 2.Work Chamber - Borosilicate Glass 165mm Dia x 125mm H 工作腔室-硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.Safety Shield