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光学轮廓仪WIVS-I

1、简介 由于受到触针针尖半径等的影响,触针式表面轮廓仪横向分辨率受到限制,对于峰峰值很小的表面,触针很难伸到谷底,测得的轮廓失真严重。而且由于接触测量,锋利的针尖会划伤测量表面,同时触针使用一段时间后会产生磨损,都会使测量结果不可靠。因此

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