您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
发布时间:2023年03月
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
LAUDA Semistat热电过程恒温器 适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业
为苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制
热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换, 这些原件可以实现快速且精准的温度控制,满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求。
与基于压缩机的系统相比,热点在线使用 Semistat 温度控制系统,降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。
产品型号:S 1200/ S 2400/ S 4400
低能耗,没有压缩机和制冷剂的系统
占地空间小,如果放置在地板下方则不占用Sub-Fab
极低的导热液体填充量
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器,Lauda Semistat
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器信息由德祥科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
LAUDA Integral P过程恒温器
Lauda Proline Kryomate落地式制冷恒温器
Lauda Proline 校准恒温器
Lauda LOOP 恒温循环器
Lauda ECO 浸入式控制器
Lauda Kryoheater Selecta 工艺过程恒温器
LAUDA Varioshake摇床
德国LAUDA Variocool冷却水循环器
Empowering Excellence. For a better future. | °LAUDA半导体行业的工业温控半导体是未来的明星产业,也是 LAUDA 一直在持续关注的行业。在半导体的生产和电子元件测试过程中,许多工序都必须进行精确的温度控制。例如,前道工序中的等离子蚀刻或金属有机气相沉积。以及其他典型的温度相关测试内容,如功能和负载测试的压力测试、环境模拟以及电子组件的在线测试等。 LAUDA 的工业温控产品,如 Variocoo
德国Lauda PRO P2E恒温循环器
LAUDA Ultracool UC MIni冷却水循环器
群组论坛--近红外(NIR)
您可能要找:劳达科学恒温器Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器价格Lauda Semistat 恒温器参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号