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仪器简介:Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(专利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。 技术参数:(1) 类型: CCI 干涉(相干相关干涉) (2) 分辨率: 0.1 A (3) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 ) 更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。 主要特点:•专利的相干相关算法 •0.01nm分辨率 •10-20秒测量时间 •RMS重复性:0.03A
Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪,Talysurf CCI
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