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仪器简介:
电子电路驱动微扫描器,样品微扫描台上随扫描台在XY平面内扫描,在Z方向进行精密移动,由光纤探针和石英音叉构成的光学探针由微动电机驱动,进行粗逼近。石英音叉传感器检测光纤探针与样品的剪切力,通过电子学反馈控制系统反馈给扫描平台,使探针与样品之间的间距恒定在纳米量级。由光电探测器探测光纤接收或发射端的光强,获得样品表面形貌和近场光能量分布;本装置由测量主题(光源、物镜、探针、扫描台等),扫描驱动电源,光电检测电源,CCD监视器,微机系统组成。
标准配置技术指标 工作模式 透射或反射 透射方式 探针照明和探针接收 光源波长 532nm,10mW(可选配Ar离子激光器实现多种波长) 样品要求 尺寸≤Φ20mm X-Y线性扫描范围 20μm×20μm 探针 红色与绿色孔径<100nm 探测器 光电倍增管 精密探针定位 4×4mm,分辨率:5μm 扫描台在Z方向的线性移动范围 3μm 光学分辨率 50~100nm管 剪切力分辨率 Z:1nm,X/Y:10nm 样品定位 30×30mm 样品台水平移动范围 5mm×5mm Z步进距离 <200nm 观察系统 分辨率2μm,观察视野2mm,放大倍率28X-100X,彩色CCD观察0.9-2mm,彩色CCD放大率93X-325X 控制系统 全数字控制装置 防震方式(选购) 精密防震平台(VLT-B09-06)
透射方式: 对透明薄膜样品,照明光源经物镜聚焦在样品表面,光探针在薄膜的另一表面扫描,由探针接受样品表面散射光,获得近场图像。 采用长焦距物镜焦点能够达到并照明厚样品的表面。物镜在三维空间可调。 反射方式: 对不透明样品可以改变仪器光路和探测器位置实现反射式测量。需另外增加接收探头。提供Windows系统下的应用程序。 可以同时获取光学图和形貌图像的,提供一至两个附加的采样通道和相应的图像显示存储功能。提供图像数据与标准图像格式的转换。 提供伪三维图像显示,FFT滤波、平面校正、曲面校正功能。
扫描近场光学显微镜(SNOM),NANOFIRST-5000
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