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SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,百分真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
结构紧凑,高刚性
零间隙,高精度柔性铰链导向系统
压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
内部根据需求可增加位置反馈
应用:纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
对二维材料的电学测量 对器件的电学测量
对芯片的电学测量 对一维材料的电学测量
SEM纳米探针台,SEM纳米探针台
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PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点,使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术,运动无需润滑,兼容扫描电镜真空环境,并可在多种温度范围内工作;步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多
PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米力学台是动态观察和分析纳米材料力学行为的重要工具。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米力学台 集成了压电驱动四轴样品台及定量力学压头,样品及压头两侧同时控温,是开展材料纳米力学行为研究的重要工具。纳米力学台-技术指标力加载指标加热控温1. 载荷大小:0-100mN;1. 温度范围:室温至400℃(更高温度可选);2. 位移范围:100μm;2. 控温精度:±1℃;样品台移动指标3
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