SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动，运无需润滑，百分真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。

• 结构紧凑，高刚性

• 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 

• 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

• 内部根据需求可增加位置反馈 

• 应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

• 适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等

应用案例

        

                                对二维材料的电学测量                                                                                对器件的电学测量

        

                                   对芯片的电学测量                                                                                    对一维材料的电学测量

SEM纳米探针台信息由安徽泽攸科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于SEM纳米探针台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途