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线性压电纳米位移台MF30-30A,大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境,支持定制纳米位移台。
结构紧凑,高刚性
零间隙,高精度柔性铰链导向系统
室温到液氦工作温度,超高真空兼容
压电陶瓷促进器具有超长使用寿命
带位移传感器,提供位置和速度闭环控制
产品应用
电子显微镜原位纳米探针台,半导体芯片检测,光刻机工件台,微生物操纵手,光纤焊接,超精密组装,精密检测与测量
线性压电纳米位移台MF30-30A,MF30-30A
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