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可对应各种选配,膜厚的特制解析椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围
FPD LCD,PDP,FED,有机El
半导体 a-Si,poly-Si,其他
复合半导体 半导体激光,强电介质
数据储存 DVD,HDD,磁气头
光学材料 膜,防放射膜
膜 AR膜
FE-5000SFE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能,但是价格低,省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
高速高精度
纳米级的薄膜膜厚测量
非接触非破坏实现多层膜的解析
材料表面光学常数(n.k)的测量
可求得膜厚以及光学定数的波长分散
[膜厚,光学定数 (n:折射率、K:消光系数)、椭圆偏光仪(tanψ、cosΔ)]
提供膜厚管理膜质管理有用的信息
通过400ch以上的多通道光谱法,迅速测量椭圆光谱
可实现一分钟以内的高速测量
光谱点多,所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变,对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价
利用有效媒质近似(EMA)可测量复素折射率的波长分散,混合结晶的混合比,界面的厚度等。
利用各种光学常数函数和膜model解析,可对应薄膜界面等的材料物性评价
利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能,改善了操作性
椭圆偏振光测量仪FE5000,FE5000
椭圆偏振光测量仪FE5000信息由北京先锋泰坦科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于椭圆偏振光测量仪FE5000报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
CIE 59-1984 偏振:定义和术语,仪器偏振(E)
KS B 4074-1972(2011) 椭偏仪
GJB 8373-2015 椭圆应力区型偏振保持光纤规范
NAVY MIL-F-21424 A VALID NOTICE 1-1988 用于光学仪器的偏振滤光镜
NAVY MIL-F-21424 A-1975 用于光学仪器的偏振滤光镜
GJB 1713-1993 纳米激光偏振干涉仪规范
JY 141-1982 光的干涉、衍射、偏振演示仪
JJF 1428-2013 光纤偏振模色散测试仪校准规范
JJF 1456-2014 通信用光偏振度测试仪校准规范
BS EN ISO 23131:2022 椭偏仪 原则
DIN EN ISO 23131:2023-01 椭偏仪 原理
NF EN ISO 23131:2022 椭偏仪 - 原理
DANSK DS/ISO 23131:2021 椭偏仪 原理
GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
GB/T 28291-2012 电镀锡钢板表面涂油量试验方法
DIN EN ISO 23131 E:2022-08 椭偏仪 原理(草案)
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
T/CI 003-2021 地表-地物偏振遥感探测技术规范
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