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UGA (ULT)系列大气分析设备新技术的质谱分析仪,压强测试范围从大气到超高真空压强,是在线监测和混合气体分析的理想设备。无论检测受限制的污染物,溶剂,氢化物, 制冷剂或者是腐蚀性气体,UGA 都能胜任。UGA 的应用包括半导体尾气检测,杂物箱分析,燃料电池的研究,氟利昂检测,污染检测,发酵研究和简单真空分析。UGA系统自带windows 软件,实时采集数据和图形化显示,操作方便快捷。软件功能中包含模拟的柱状扫描模式、压力和时间关系图、检漏测试、气体分析和在线分析。标准的GPIB 和RS232 接口方便与计算机连接控制。
图1 UGA P vs. T mode图2 UGA Analog mode
UGA系列大气分析设备包含三种质谱范围:分辨是100amu、200amu、300amu。详细参数如下:
♦ 入口类型
1 to 760Torr 不锈钢和毛细管
10−1 to 10−4 Torr 1/8” to 1/4” 管型通道
<10−4 Torr 2.75”CF 法兰
流量 1 to 10 ml/min (标准大气压下)
♦ 质谱仪器
类型 四极(RGA)
探测器 法拉第杯和电子倍增管
质谱范围 100, 200 or 300 amu
分辨率 Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)
探测极限 Less than 1 ppm
工作压力 5 × 10−6 Torr
♦ 系统
高真空泵 涡轮分子泵
隔膜泵 最先进的超低压隔膜泵
UGA系列大气分析设备,UGA/ULT
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