德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于：
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-S 系列准分子激光器
ATLEX-S 具备更小的尺寸，适合低- 中负荷的应用。
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增益介质 |
ArF |
KrF |
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波长 (nm) |
193 |
248 |
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高压开关技术 |
固态开关 |
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最高脉冲能量 (mJ) |
10 |
15 |
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最高平均功率 (W) |
2.4 |
4.0 |
4 |
6 |
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最高重频 (Hz) |
300 |
500 |
300 |
500 |
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脉冲宽度 (ns) |
5 - 8 |
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光束尺寸 (mm) |
4×6 |
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光束发散角 (mrad) |
1×2 |
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能量稳定性 (rms) |
3% |
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外形尺寸 (mm, L×W×H) |
630×400×300 | |||
准分子激光器ATLEX-S系列,ATLEX-S系列
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