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德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于:
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列,低负荷的ATLEX-LR 系列,以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷,主动热管理
• RS485,RS232,USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-FBG 系列准分子激光器
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计,具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。
增益介质
ArF
KrF
波长 (nm)
193
248
高压开关技术
固态开关
最高脉冲能量 (mJ)
10
15
空间相干性 ( 光斑竖直方向 )( m)
>300
最高平均功率 (W)
ATLEX-300-I
2.4
4.0
ATLEX-500-I
6.5
最高重频 (Hz)
300
500
脉冲宽度 (ns)
5 - 8
光束尺寸 (mm)
4×6
光束发散角 (mrad)
1×2
能量稳定性 (rms)
3%
外形尺寸 (mm, L×W×H)
540×470×300
准分子激光器ATLEX-FBG,ATLEX-FBG
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