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严禁氢气和氧气同时供气,保证安全。
气路通道: 2 (可根据客户需求设计1-8通道) 气路流量控制: 采用浮子流量计: 量 程(ml/min) :6~60,10~100,16~160 精 度(空气) :1 ml/格(6~60 ml/min) 2 ml/格(10~100,16~160 ml/min) 工作压差范围 :0.1~0.5 MPa zei 大 压 力 :3 MPa 接 口: Φ6,1/4” 显 示: 刻度 工作环境温度:5~45℃ 高纯气体不锈钢管:Φ6外X Φ4内 压 力 真 空 表 :-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截 止 阀 :Φ6
1.本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。 2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。 4.显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。 5.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。 二.工作原理 由气体钢瓶输入两种气体,形成A,B两种组份,经过减压阀减压,输出所需流量的气体,再通过调节每一组分的体积流量,输出预定比例关系的混合气体,达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶(只能同时启用二个钢瓶),如:H2/AR,H2/N2,O2/N2等。 严禁氢气和氧气同时供气,保证安全。 将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上,其中之一是氢气专用连接头,选择连接好两种气体,按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮,再旋转减压阀旋钮增大气体压力,调节两种气体流量,输出所需要的压力和流量。 本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全可靠! 本系 统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。
供气(混气)系统 (质量流量计),供气(混气)系统 (质量流量计)
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