高品质ReflX™反射物镜
1）PV值 λ/4
2）锥形设计可以在45度入射角的时候方便的安装和拆卸
3）为降低衍射效应采取了弯曲结构
4）通过相关认证
我们的ReflX™反射物镜是和原来的反射物镜加了个可以减小P-V值的装置，可以在入射角为45度时使用。生产这种反射物镜的作用是可以达到λ/4P-V的波前，此时需要反射镜有很高的精度。为此我们的精加工中心使用QED Q22-MRF磁流体加工设备和QED SSI干涉仪来加工和检测我们的反射面形，此精度可以达到1/20ΛP-V值。
方式 | 放大率 | 涂层 | 数字孔径 NA | 产品号 |
Infinity Corrected | 15X | DUV Enhanced Aluminum | 0.28 | #59-884 |
Finite Conjugate | 15X | DUV Enhanced Aluminum | 0.28 | #59-885 |
Infinity Corrected | 15X | UV Enhanced Aluminum | 0.28 | #59-886 |
Finite Conjugate | 15X | UV Enhanced Aluminum | 0.28 | #59-887 |
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