金相显微镜BX51M
金相显微镜BX51M的显微观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜(检偏振器和起偏振器)产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织、矿物、LCD 和半导体材料。
暗视场可以让用户观察来自样本散射和衍射的光线。光源的光线会先穿过照明装置中的环形光学照明器件,然后在样本上聚焦。样本上的光线只是由Z 轴上的瑕疵反射形成的。因此,用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本,包括晶圆。
偏振光观察法
该显微观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜(检偏振器和起偏振器)产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织(例,球墨铸铁中石墨的生长图案)、矿物、LCD 和半导体材料。
微分干涉(DIC)观察法
DIC 是一种显微观察技术,可以将明视场观察法中无法检测到的高度差异,用增强的对比度以浮雕或三维图像的形式表现出来。该项基于偏振光的技术,拥有三个专门设计的棱镜可供选择以满足用户的需求。该观察法适用于检测高度差异极其微小的样本,包括金相组织、矿物、磁头研磨面和硬盘表面及晶圆研磨面。
荧光观察法
半导体晶圆上的颗粒
该项技术适用于观察那些在受到专门设计的滤镜(可以按照检测需要制作)照明时会发出荧光(发出不同波长的光线)的样本。该方法通过荧光染色,应用于观测半导体晶圆表面的污物、抗蚀剂的残渣和裂痕的检测。可以添加选购的复消色差光源聚光透镜系统,从而为可见光到近红外线范围内的色差进行补偿。
IR(红外线)观察法
硅晶片层下的半导体电路
对使用了硅片、玻璃等易透射红外线的电子设备的内部进行无损检测时,IR 观察十分有效。IR 物镜也可用于近红外线技术,如:拉曼光谱仪和YGA 激光修复应用。
处理滤镜
OLYMPUS Stream 拥有各种滤镜,可用于边缘检测、平滑处理和其它操作。使用处理滤镜在拍摄的图像上进行增强和修改处理后,图像的特征变为可视化。为达到最佳效果,可使用预览图检查或调整滤镜的效果。
透射光观察法
LCD彩色滤镜
对于透明样本,如,LCD、塑料和玻璃材料,可通过使用各种透射光聚光镜实现真正的透射光观察。使用透射光可以在明视场、暗视场、DIC 和偏振光中对样本进行成像和检查--所有这些都在一个便捷的系统里。
自动制作3D 图像(EFI)
硬币细节
使用BX61 或外部电动调焦单元,便可以快速地记录并组合超出焦深之外的样本的图像。只需一键操作,使用EFI 功能便可以将各个不同焦深的图像合成一幅3D 图像。最终的3D数据可用于3D 观察或用于测量高度和距离。
| BX61 | BX51 | BX51M | BX41M-LED |
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) |
机身 | 照明装置 | 反射/透射 | 反射 | 反射(对应ESD功能) |
外置12 V 100 W光源 光量预调开关 LED电压指示 反射/透射光转换开关 | 内装12 V 100 W光源 光量预调开关 LED电压指示 反射/透射光转换开关 | 内装12 V 100 W光源 光量预调开关 LED电压指示 | 内装3 W白色LED光源 光量预调开关 |
对焦单元 | 电动调焦 行程25 mm 最小刻度单位为0.01 μm | 行程25 mm 微调旋钮1圈的微调行程为100 μm 最小刻度单位为1 μm 可设聚焦粗调上限停止位置,粗调旋钮张力可调 |
最大标本高度 | 25 mm(不包含臂长调节器) | 65 mm(不包含臂长调节器) |
观察筒 | 广角视场 (视场数为22) | 倒置∶双目镜筒、三目镜筒、倾斜式双目镜筒 正象∶三目镜筒、倾斜式双目镜筒 |
超宽视场 (视场数为26.5) | 倒置∶三目镜筒 正象∶三目镜筒、倾斜式三目镜筒 |
反射光 照明装置 | 明视场等 | BX-RLAA 电动明/暗视场转换 电动孔径光阑 | BX-RLA2 100 W卤素灯(可装高亮度光源、光纤照明装置) 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光 视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构)、明/暗视场法连动的ND滤镜 | BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED 3 W白色LED照明 明视场/微分干涉/简易偏振光 对应ESD功能 仅BX-AKMA-LED具有的功能: 斜射照明装置 AS(带中心输出机构) 斜射照明的位置设置 |
反射光 荧光 | BX-RFAA 电动六孔转盘 内置电动光闸 备有视场光阑和孔径光阑 | BX-URA2 100 W汞灯、75 W氙气灯 六孔分光镜组件(标准∶WB、WG、WU+BF等) 备有视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构)及光闸机构 |
透射光照明装置 | 100 W卤素灯 阿贝聚光镜/长工作距离聚光镜 内置透射光滤镜(LBD、ND25、ND6) | - |
物镜转换器 | 明视场用 | 电动六孔 | 六孔、中心输出六孔、七孔(电动物镜转换器选购件) | 五孔、六孔(对应ESD功能)、七孔 |
明/暗视场用 | 电动五孔、电动六孔、中心输出五孔 | 五孔、中心输出五孔、六孔(电动物镜转换器选购件) | - |
载物台 | 带左手(右手)用同轴驱动旋钮的载物台:76 (X) × 52 (Y) mm,张力可调 带左手(右手)用同轴驱动旋钮的大型载物台:100 (X) × 105 (Y) mm,附设Y轴锁定机构 |
ESD性能 | - | 表面电阻108Ω以下,放电时间少于0.2秒* |
外形尺寸 | 约318(宽) × 602(长)× 541(高) mm | 约318(宽) × 602(长) × 480(高)mm | 约318(宽) × 602(长) × 480(高)mm | 约283(宽) × 455(长) × 480(高)mm |
重量 | 约25.5 kg (机身约重11.4 kg) | 约20.8 kg (机身约重10.3 kg) | 约19.5 kg (机身约重9.8 kg) | 约14 kg (机身约重6.7 kg) |
| BXFM | BXFM-S |
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) |
机身 | 对焦单元 | 行程30 mm、微调旋钮1圈的微调行程为200 μm、最小刻度单位2 μm、粗调旋钮张力可调 |
观察筒 | 广角视场 (视场数为22) | 倒置∶双目镜筒、三目镜筒、倾斜式双目镜筒 正象∶三目镜筒、倾斜式双目镜筒 |
超宽视场 (视场数为26.5) | 倒置∶三目镜筒 正象∶三目镜筒、倾斜式三目镜筒 |
反射光 照明装置 | 明视场等 | BX-RLA2 100 W卤素灯(可装高亮度光源、光纤照明装置) 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光 备有视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构) | U-KMAS 100 W卤素灯光纤照明装置 明视场/微分干涉/简易偏振光 |
反射光 荧光 | BX-URA2 100 W汞灯、75 W氙气灯 六孔分光镜组件(标准:WB、WG、WU+BF等) 备有视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构)及光闸机构 | - |
物镜转换器 | 明视场用 | 六孔、中心输出六孔、七孔(电动物镜转换器选购件) |
明/暗视场用 | 五孔、中心输出五孔、六孔转盘(电动物镜转换器选购件) |
外形尺寸 | 约248 (宽) × 587 (长) × 249 (高) mm | 约394 (宽) × 334 (长) × 276 (高) mm |
重量 | 约9 kg(标准组合) | 约6.2 kg (标准组合) |
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金相显微镜,BX51M
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