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发布时间:2022年02月
FS-70系列半导体检测显微镜单元
FS-70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
产品特点
• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的OEM (原厂委制) 产品,如那些利用YAG (近红外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片进行检测和修补的设备。* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用:切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
技术参数
型号
FS70
FS70-TH
FS70Z
FS70Z-TH
FS70L
FS70L-TH
FS70L4
FS70L4-TH
FS70S
FS70-THS
FS70ZS
FS70Z-THS
FS70LS
FS70L-THS
FS70L4S
FS70L4-THS
聚焦调节
使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围
图像
正像
物镜筒镜
西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm
视场数
24mm
俯角
-
0°-20°
透过率
固定(目
镜/TV=
50%/50%)
可调型(目
镜/管径=
100%/0%:
0%/100%)
可调型(目镜/管径=100%/0%:0%/100%)
防护滤光片
内置激光滤光片
管径镜头
1x
1x-2x放大
适用激光
1064/532/355nm
532/266nm
相机安装端口
C-mount (适用适配器B选件)
使用带TV接口的激光
C-mount开关
(带绿色滤光片转换开关)
照明系统(选件)
亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)
12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度
物镜
(用于观察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物镜(用于激光切割)
M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
载重
14.5kg
13.6kg
14.1kg
13.2kg
14.2kg
13.5kg
13.9kg
13.1kg
重量(主机)
6.1kg
7.1kg
6.6kg
7.5kg
6.4kg
7.2kg
6.7kg
灯泡更换
标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)
用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)
注:镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。
半导体检测显微镜单元,FS-70系列
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