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仪器简介:
该系列产品应用特定的热传感器和控制电路,保证的测量的高准确度,允许在更广泛的操作条件下获得更精确的数据。 质量流量控制器被广泛应用于半导体工业及其他工业领域。传感器设计为糙面,容易使用。 应用范围: 所有工业行业 精确的气体混合&分析 表面处理工业(PVC,CVD反应堆等)的气体注射 半导体工业 组分泄露探测 研发 高压工业 光纤 燃料电池(油箱) 反应堆系统 气体混合系统 实验室
产品型号: M3100V 流量范围(N2): 25slpm ~ 120slpm 响应时间: ≤3秒 准确度: ≤±1% 满量程 重复精度: ≤±0.25% 满量程 输出输入信号: 0~5 Vdc 供电 : ±15Vdc,350毫安 耐压: ≤90 bar 工作环境温度: 0~50 °C 产品型号: M3100A 流量范围(N2): 25slpm ~ 120slpm 响应时间: ≤3秒 准确度: ≤±1% 满量程 重复精度: ≤±0.25% 满量程 输出输入信号: 0~5Vdc或4~20毫安 供电 : ±15Vdc,350毫安 耐压: ≤90 bar 工作环境温度: 0~50 °C
测量原理: 气流被一个分层气流支路恒速分流,气体分子通过传感器。携带热量的下行气流在RTD之间产生一个温差,这个温差同质量流量速率成比例。 优势: 质量流量检测 不因为温度和压力的波动而失准 方便型的流量控制系统 高准确度 耐高压(90bar) 快速的响应时间 高重复精度
气体质量流量控制器M3100系列,M3100系列
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