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应用说明
适用于新材料(包括薄膜,纤维,粉末以及高性能复合材料等)的制备,金属制品的表面强化和防腐蚀,纺织品的后整理,高聚物聚合及其表面改性,微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造,纳米材料的制备和器件的开发,高效照明光源和紫外光源的开发,有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。
1、采用卧式高温管道式腔体结构,气路为左进右出,中间设置等离子观察口2、左侧设置2路混气气氛结构3、设置防漏波监视口,等离子激发状态,观察内部等离子体反应情况4、采用PLC程序控制模式,具有更智能的工艺控制模式。
微波等离子体管式炉 MKP-T2HA,MKP-T2HA
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