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集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到*新的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
*大观察样品:Ø300 mm晶片
L300ND/反射.透射照明两用型
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
使用CFI60光学系统,彻底消除耀斑影响,对比度更高,成象更加清晰、明亮;
物镜齐焦距为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
型号
ECLIPSE L300N
ECLIPSE L300ND
(落射照明型)
(透射/落射照明型)
主机
内置12V-50W卤素灯光源;内置用于电动控制器的电源
用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、
光圈叶片控制器
物镜转换器:具备物镜转换器
对中功能的电动通用六座物镜转换器
—
反射/透射切换器
调焦部分
对焦部:行程29mm
粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)
微调:0.1mm/转(以um为单位)
反射照明部分
12V50W高亮度卤素灯照明装置
孔径光阑(电动.可调心)、视场光阑(固定.带对焦目标)
可插入小孔光阑滑块(OPTION)
可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/检偏器
观察方法:明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光
(仅用于L300N/L300ND/L200ND)
透射照明部分
12W50W高亮度卤素灯照明装置
内置孔径光阑
内置LWD聚光器
接口
USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1
镜筒
L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒(视角0~30°)
视场数25、光分光100:0/0:100
L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒(俯角0~30°)
视场数25、光分光100:0/20:80
LV-T13正立三目镜筒
目镜
CFI目镜
物镜
CFI60系列物镜
载物台
14x12载物台、行程354mmx302mm
(透射观察范围:354mmx268mm)
带粗/微动切换功能
微动手轮位置固定
防静电功能
从1000到10V放电时间在0.2秒以内
耗电
1.2A/90W
尺寸
约360(W)x581(H)x951(D)mm(倾斜角度为10°时)
检查显微镜,FPD/LSI
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