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我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。 晶圆尺寸•厚度对应表
薄片检查
对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
背面宏观360゜旋转
宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘。
利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外,在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆zei大倾斜30゜进行观察。
操作便捷
为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认。
AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。
为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令。
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法,包括:明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线),实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜,AL120
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“芯”河滚烫2021年“SEMICON China”如期而至,行业大咖齐聚在这一片“芯”辰大海。 作为百年光学企业,奥林巴斯携显微产品闪亮登场,展示的OLS5100、DSX1000、MX63L实力圈粉,一时成为展会现场明星产品。 接下来,就和小奥一起直击展会现场,看看奥林巴斯如何大“显”身手吧! 随着疫情逐渐趋于稳定,各大精密仪器企业纷纷复苏,不断创新探索半导体行业的更多可能。2021年3月17–19日,半导体行业
半导体器件中的基础性原材料是晶圆。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经过切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。晶圆表面的电路结构非常复杂,当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行微观观察时,传统方法要求前者采用暗场照明,后者采用明场照明,并在这两种技术之间反复切换。这种观察方法非常耗时,因为创建报告时每种技术都需要图像采集。奥林巴斯解决方案MX63/MX63L用于半导体/FPD
您是否正在考虑将集成光学零件或显微镜组件加入您的设备?凭借100多年在光学、机械、电子、数字和精密技术领域的丰富经验,奥林巴斯致力于与工程师和设备设计师紧密合作,可提供超过1000个组件支持我们的客户构建所需的系统。 用于整合的显微镜部件 方便集成我们组件所采用的模块化设计让其非常便于与其他光学机械系统集成,最终节省项目开发的时间和资金。产品设计者能够很方便地挑选在光学、机械和电子方面最能够满足其系统要求的组件和
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