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我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。 晶圆尺寸•厚度对应表
薄片检查
对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
背面宏观360゜旋转
宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘。
利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外,在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆zei大倾斜30゜进行观察。
操作便捷
为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认。
AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。
为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令。
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法,包括:明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线),实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜,AL120
AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜信息由仪景通光学科技(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
DOD A-A-51689-1986 显微镜目镜测微计圆盘
BS 7012-10.2:1997 光学显微镜.立体显微镜最低要求.高性能显微镜
BS 7012-14:1997 光学显微镜 体视显微镜的标记
GB/T 22058-2008 显微镜.体视显微镜的标志
GB/T 19864.1-2005 体视显微镜 第1部分 普及型体视显微镜
GB/T 19864.1-2013 体视显微镜 第1部分:普及型体视显微镜
JIS B 7139-2:2008 立体显微镜.第2部分:立体显微镜的测试
JIS B 7150:1993 测微显微镜
BS 7012-10.1:1998 光学显微镜.立体显微镜的最低要求.一般用途立体显微镜
KS B 5601-2021 测微显微镜
KS B ISO 15227-2023 光学和光学仪器显微镜立体显微镜的检验
ISO 9344:2011 显微镜.目镜测微尺
KS B 5601-1995 测微显微镜
KS B 5601-1995(2021) 测微显微镜
ISO 8036:2015 显微镜.光学显微镜浸液
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