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性能指标 稀释气入口数:1 源气入口数:3 稀释质量流量控制器:0~10L/min(可扩展) 标气质量流量控制器:0~100ml/min(可扩展) 流量准确度:±1.0% 流量重复性:0.15%F.S 线性:±0.15%F.S 气体压力:100kPa~200kPa 响应时间:T90≤60s 稀释率:100:1~1000:1(标准) 输出通道:3 工作环境温度:0℃~40℃
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