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仪器简介:
●采用UV 激光光源,zei高分辨率可达120纳米
●聚焦zei小步进/zei大行程:10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米 ●无须复杂的制样过程,样品无须镀膜导电处理,观察时无须真空,可放置重样品(10KG)
●激光安全等级:CLASS 2 ●图像感应装置:光电倍增管
技术参数:
1 测量 2D测量:zei佳测量范围1.5mm~1 μm; 不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。 3D测量:zei佳测量范围1mm~0.5 μm; 体积、容积、表面积等3D测量;可测量透明膜厚度。 粗糙度分析:zei适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析; 不公是线粗糙度,面粗糙度也能检测。 2 3D形貌 能获得3D色彩等多种多样的信息 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。 利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。 3 高分辨率观察 显示器倍率为14,400倍。接近SEM的放大率。 接近SEM的高对比度的解像度。 可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE 利用微分干涉进一步提高分辨率。 实时观察。 zei大观察范围是2,560X2,560μm
主要特点:
● 世界zei高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米 ●3D成像,高精度测量,Z轴zei小读数精度0.01微米。 ●实时像的获得和测量同时。 ●408nm激光采用
激光共焦显微镜,LEXT 3100
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