溅射气体 | Vaccum | 样品台尺寸 | 50*30mm |
控制方式 | 自动 | 样品仓尺寸 | 140*100mm |
靶材尺寸 | 53mm*0.1t | 靶材材质 | Au or Pt |
该设备在非导电和微导电试样表面制造等离子体形成金属薄膜,是电子显微镜(SEM)分析时必须进行的预处理设备。
主要特点
1.7英寸触摸屏,操作更简单
2.抽真空→ 自动喷金 → 卸真空 触摸一步完成
3.最多可以储存10个常用使用条件
4.可以同时装载Φ14㎜ 大小的样品托
5.电压值为1 to 10mA,防止喷金过程中样品损伤
6.外观设计小巧简约,只需一点点放置空间
Vacuum Degree 2.0 x 10-2torr
Ion Current 1 to 10mA (1mA/step)
Target Material Au or Pt
Chamber Size Φ140mm(D) x 100mm(H)
Sample Stage Φ50mm(D) x 30mm(H)
Target Size Φ50mm(D) x 0.1(T)
Sputter Time 1 to 600sec (1sec/step)
Vacuum Pump 100L/min, Rotary Pump (Recommended)
Dimension 380(W)x 240(L) x 250(H)mm, 10kg
韩国SAM离子溅射仪G20, G20
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