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产品介绍
准分子EnergyMax能量探头是特别为波长为193nm的ArF激光器和波长为248nm的KrF激光器设计的。准分子EnergyMax系列精度高,有效探测面积大(最大口径可达50mm),并且采用新型涂层,从而大大提高了长期抗损伤能力。
准分子EnergyMax系列有多个不同型号,其最佳工作波长分别为193nm和248nm(对可见光和近红外光仍可精确测量)。这些探头都采用独 特的MaxUV涂层,大大提高了深紫外区的抗损伤阈值和抗紫外长期照射能力,同时也将最高响应频率提高到400Hz。准分子EnergyMax系列可自动 对环境温度和波长进行补偿,以获得更精确的数据读取。这系列探头与LabMax-TOP、FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P等能量 表头兼容。
所有准分子激光探头匹配可选的散热片后,都可以承受更高的能量或平均功率。这些散热片可分别将J-25MUV-193(-248)和J-50MUV-193(-248)可承受平均功率提高到36W和43W水平(波长193nm)。
产品特点
独特的MaxUV涂层,提高抗损伤阈值和长期抗紫外照射能力,提高响应频率
波长范围:190nm~2.1μm
能量测量范围:50μJ~250mJ
最高响应频率: 400Hz
自动波长补偿
自动温度补偿
主要应用
激光及基于激光的系统
激光测量及控制
精密光学
参数
型号
J-25MUV-248
J-25MUV-193
J-50 MUV-248(W/O DIFFUSER)
J-50MUV-248(W/ DIFFUSER)
J-50MUV-193(W/O DIFFUSER)
J-50MUV-193(W/ DIFFUSER)
能量量程
125 μJ to 250 mJ
50 μJ to 100 mJ
500 μJ to 1J
噪声等效能量
< 4 μJ
< 2 μJ
< 16 μJ
波长范围(μm)
0.19 to 2.1
0.19 to 0.266
有效区域直径(mm)
25
50
最大平均功率(W)
5
10
15
18
最大脉冲宽度(μs)
43
86
最大重复频率(pps)
400
200
最大能量密度(mJ/cm2)
260(@ 248 nm, 10 ns)
200(@ 193 nm, 10 ns)
520(@ 248 nm, 10 ns)
400(@ 193 nm, 10 ns)
探测器涂层
MaxUV
校准波长(nm)
248
193
校准不确定度(%)
±3%
电缆长度(m)
2.5
电缆接头类型
DB-25
相干COHERENT能量计, J-50MUV-248-D /193-D
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