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行程范围
25 mm
最大速度
1 mm/s
最小位移增量
100 nm
中心负载
50 N
轴向负载 (+Cx)
10 N
逆轴向负载 (-Cx)
-10 N
精度,典型值
±0.9 μm
精度,保证值
±3.0 μm
单向重复精度,典型值
±0.12 μm
单向重复精度,保证值
±0.25 μm
双向重复精度,典型值
±0.2 μm
双向重复精度,保证值
±0.75 μm
俯仰,典型值
±25 μrad
俯仰,保证值
±100 μrad
俯仰顺应性
80 μrad/Nm
偏摆,典型值
±30 μrad
偏摆,保证值
±50 μrad
偏摆顺应性
滚转顺应性
60 μrad/Nm
材料
Steel
轴承
Double-Row Ball Bearings
驱动方式
Stepper Motor
反馈
None
原点重复精度
±2.5 μm
电缆长度
3 m
端口类型
DB25 Male
真空兼容性
No
螺纹类型
M2 and M3
重量
0.62 kg
MTBF
10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
RoHS
Compliant
最大耗电量
10 W
兼容XPS-RL 驱动模块
XPS-DRV01
兼容XPS-D驱动模块
XPS-DRV11
ESP301兼容性
Yes
SMC100兼容性
SMC100PP
行程要求
Less Than 50 mm
MIM Requirement
100 to 500 nm
Speed Requirement
Less than 50 mm/s
Load Capacity Requirement
Less than 100 N
微型线性位移台, MFA-PPD
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