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结构紧凑设计,使用方便,小空间内实现三轴平移调整
结构的整体性,更易通过加工来保证三轴运动的正交性
左右手成对设计,水平两轴的测微头安装在同一个水平面上,方便操作
采用交叉滚珠导轨,运动舒适,平稳,保证每轴运动的直线度,偏摆,俯仰
Z轴刚性驱动升降,比弹簧提升承载大得多
测微头驱动,弹簧复位,定量读数,消除空回,达到高的调整精度
产品型号
SPYE1
SPYE2
SPYE3
SPYE4
台面尺寸
61.5mm×61.5mm
74mm×60.5mm
调整轴数
X,Y两轴
X , Y , Z三轴
X , Y , Z,θX, θZ
行程
13 mm
25 mm
13 mm/±5°
驱动方式
分厘卡驱动
驱动位置
中央驱动
导轨形式
交叉滚柱导轨
线性滚珠配精磨钢棒
最小刻度
0.01
最小调整量
2μ
偏摆
25″
30″
55″
俯仰
20″
50″
台面平行度
50μ
50μm
60μ
运动平行度
25μ
30μ
承载
10kg
8kg
3.5kg
自重
0.4kg
0.9
1.2kg
材料
铝合金
表面处理
阳极发黑
整体式多维组合手动平移台SPYE, SPYE
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