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主要特征:
? 最新高通量聚焦离子束(FIB)加工系统
? 紧凑式设计以便灵活布局-安装空间减少20%
? 低加速电压时出色的性能
? 快速寻找观察位置的平台系统
主要规格:
离子源:Ga(镓)液态金属离子源
图像分辨率:5nm
束电流:最大至60 nA
加速电压:1~30Kv
放大倍率:×60 (用于视场搜索)×200~×300,000
图片获取:平台搜索(可选)
样品台1(标准):5轴马达驱动样品台
样品台2(可选):侧插式测角样品台
沉积物:第一个GIS装置
碳、钨、铂
装置:主要部件+操作台
日本电子 JIB-4000 FIB聚焦离子束, JIB-4000
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