产品型号:
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉
产品简介:
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉是三温区的双层石英管式炉,zei高工作温度是1200°C ,双层管式炉采用双层结构,在二层之间有间隙。在这个间隙里,可以采用CVD(化学气相沉积)的方法在金属箔上生长薄膜,是特别为生长太阳能电池、蓄电池所使用的石墨烯而设计的一款专用设备。
主要特点:
1、双层石英管:外管外径127mm(5”),内管外径101mm(4”),金属箔缠绕在内管的外壁上用于CVD化学反应。
2、双层石英管的真空密封法兰允许反应气体通过双层管的20mm间隙进行化学反应。双层管结构允许冷却气体强制通过内管内部而达到快速冷却的效果。
3、zei高工作温度:1200°C
4、提供真空阀和真空表。
5、详细工作原理请参见下图。
技术参数:
1、三温区: 共900mm,( 36") 。
一温区: 229mm (9")
二温区: 457mm (18.0")
三温区: 229 mm (9")
如果三个温区设置在同一个温度,可以在长达625 mm (25")的恒温区上具有 +/- 1°C 的测温精度。
2、三个温区分别用30段温度控制器测量温度,并且具有 +/- 1° C 的精度。
3、zei高温度: 1200°C 。
4、连续工作温度: 1100°C
5、允许加热速率: <= 20°C /min
产品规格:
1030 x 430 x 580 mm ( 不算法兰和炉管 )
标准配件:
1、二根高纯熔凝石英管:
a、130 mm外径x 120 mm内径x 1400 mm 长度
b、101mm 外径 x 95 mm内径 x 1400 mm长度
2、一对SS304不锈钢法兰,用于二个石英管之间的密封支撑。
3、法兰有水冷保护套。当温度大于 900°C时,要通水冷却,可以使用自来水冷却,也可以使用水冷机循环冷却。
4、KF25 卡箍接口安装在左边法兰上,用于连接炉体与真空泵。
5、右法兰安装了不锈钢针阀。
可选配件:
冷水机、铜箔
双层管式炉,OTF-1200X-III-D5-4
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