MProbe - 仪器谱

型号	品牌	PIPES指数
Autosorb-iQ	安东帕	9.4
BELSORP MAX G	麦奇克拜尔	9.2
F-Sorb X400CES	国仪量子	9

仪器描述

MProbe 薄膜测量系统

M p r o b e 让你成为测量专家 !

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：

    氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、半导体化合物(AlGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (Paralene, 聚甲基丙烯酸甲酯, 聚酰胺), 薄金属薄膜等。

厚度范围: 1 nm-1 mm
波长范围: 200nm -5000nm

在薄膜太阳能电池中的应用:

    aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe-全太阳能堆栈测量

LCD, FPD应用:

    ITO, 细胞间隙，聚酰胺。

光学涂层:

    介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物, OLED堆。

实时测量和分析。各种多层次的, 高强度的,厚的, 独立和不均匀的层。

丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。

支持参数化材料:

    Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等⋯

使用灵活:

    可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。

测量参数：

    厚度、光学常数、表面粗糙度。

界面友好强大:

    测量和分析设置简单。背景和缩放修正,连接层和材料。

离线数据分析：

仿真和灵敏度分析，多样品测量，生产批量处理。

MProbe系统示意图

精度	0.01nm or 0.01%
精确度	0.2% or 1 nm
稳定性	0.02nm or 0.03%
光斑尺寸	标准为 3mm ，可以小到 3μm
样本大小	从 1mm 起

主要参数

模型	波长	范围光谱仪探测器/检测器/光源	厚度范围 *
VIS	400-1100 nm	分光仪 F4/Si 3600像素点/ 钨-卤素光源	15 nm to 20 mm (option:up to 50 mm)
UVVisSR	200-1100 nm	分光仪 F4/ Si CCD 3600 像素点/氘-钨卤组合式光源	3 nm to 20 mm (option:up to 50 mm)
HRVIS	700-1000 nm	HR分光仪F4/Si 3600 像素点/ 钨-卤素光源	1 mm to 400 mm
NIR	900-1700nm	传输光谱仪(TVG) F2/512 InGaAs/钨-卤素光源	100 nm-200 mm
VISNIR	400-1700 nm	分光仪 F4 Si CCD 3600 像素点 (Vischannel)；传输光谱仪(TVG) F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) 钨-卤素光源	15 nm to 200 mm
UVVISNIR	200 -1700 nm	分光仪F4 Si CCD 3600 像素点(Vis频道);传输氘-钨卤组合式光源	3 nm -200 mm
NIRScan	900nm -5000nm	扫描分光计/InGaAs/ MCT 探测器 (扫描时间 <60 秒 ) TH-SiN光源	100 nm -800 mm
XT	XT 1590nm -1650nm	传输光谱仪 (TVG) F2/512 InGaAs/钨 -卤素光源	10 mm- 1 mm

* T, n & k 测量的厚度范围为25nm – 5um
其他配置也是可以做到，欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目。
对所有系统中的配件有一年的质量保证。

膜厚测试仪,MProbe

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