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反射式配置数字全息显微镜,无需扫描,非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号:
R1000-配备单一光源,是测量光滑表面和振动的标准测量工具
R2100-同时配置双波长,实现复杂或不连续结构的测量。
R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力,特别是测量透明模式。
反射式DHM的特性:
快速3D样貌测量法
MEMS分析,最高频率可达25Mh
DHM测量表面三维样貌,单一响应,无需扫描机制。无与伦比的快速采集,相机速度达1000fps允许:
可变形样品的3D动态研究
常规检查与高生产率
短余辉荧光屏及大型表面的分析
捕捉生产线的三维地貌
同步DHM 可选频闪单元,测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供:
三维地貌的时序
共振频率和响应
振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm
表征复杂运动和样品
测量可控制环境条件
透明模式的地貌测量
DHM独特的光学配置允许用户测量最佳光学质量指标:
通过玻璃和浸没液体
内部环境和真空室,控制温度,湿度,压强,气体成分。
可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量:
透明结构的地形
厚度和折射率,多层结构的厚度值
从10nm到几十微米
柔软材料和液体的地形
反射式DHM主要参数:
系统
DHM型号
R1000
R2100
R2200
光源数量
1
2
3
操作波长(±0.1nm)
666nm
794nm
666 nm, 794 nm, 680 nm
激光波长稳定性
0.01 nm / °C at 666
样品台
手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm
物镜
放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜
物镜转轮
六孔转盘
计算机
DELL工作站,最新多核Intel处理器,高性能图像卡,配置最小21英寸显示屏及鼠标,
软件
基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于先进分析
数据兼容性
测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组
技术参数:
性能参数
测量模式
666nm单波长
合成短波长4.2um
合成长波长24um
R1000,R2100,R2200
R2100,R2200
精度[nm]
0.15
0.15 / 3.0 *
20
垂直分辨率[nm]
0.30
0.30 / 6.0 *
40
重复性[nm]
0.01
0.01 / 0.1 *
0.5
垂直测量范围
up to 200 μm
锐利边缘最大台阶高度
up to 333 nm
up to 2.1 μm
up to 12 μm
表面类型
光滑表面
复杂,非连续表面
复杂非连续表面
垂直校准
取决于干涉滤光片,±0.1 nm
响应时间
标准500us,10us(可选)
响应速度
标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧
重建速率
高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧)
水平分辨率
取决于物镜,低至300nm
视野
取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围
工作距离
取决于物镜,从0.3到18 mm
数字对焦
取决于物镜,高达50 x景深
最小样品反射率
低于1%
样品照明
低至1 μW/cm2
频闪装置
兼容单一,合成短波长
瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜, DHM-R1000
瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜信息由瞬渺科技(香港)有限公司为您提供,如您想了解更多关于瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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