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精选 离子束刻蚀/沉积系统
参考价：面议
品牌：ELIONIX 产地：日本 型号：EIS-200 样本：来电或留言获取样本
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产品介绍
EIS-200是Elionix推出的一款基于电子回旋共振技术（ECR）的小型离子束蚀刻系统，特别适合于科研用离子束刻蚀、减薄，清洗、沉积等。
EIS-200原理：
利用ECR技术产生高能Ar+离子束，Ar+离子束通过电场加速到达样品表面，对样品进行物理的轰击达到刻蚀作用。
EIS-200具有以下优点：
方向性好，各向异性，陡直度高，侧向刻蚀少
分辨率高
不受刻蚀材料限制，可对石英等材料进行蚀刻
可控制蚀刻Taper角
可以设定多样的实验条件
NPD(纳米图案成膜单元)选项（如下图）
主要功能
纳米级图案刻蚀
高深宽比蚀刻
离子束沉积
表面清洁
离子减薄
技术能力
应用
纳米级图案刻蚀、高深宽比蚀刻、表面清洁、离子减薄等
SiO2 on Si substrate
Diamond Substrate（金刚石）
Quartz (Mask)
Oriented PET film
离子束刻蚀/沉积系统信息由上海纳腾仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于离子束刻蚀/沉积系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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最新评论
user007
产品总体不错，但售后服务响应有点慢，希望商家能改进。
2018.05.22
xiaoMing123
用了几个月，效果还不错，就是操作有点复杂，需要多练习几次。
2016.07.15
techGuru88
离子束刻蚀精度很高，实验室的小伙伴都说好，就是价格有点贵，适合预算充足的科研团队。
2015.11.30
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