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应用范围:光电轮廓仪的应用范围很广,它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度;零件表面的刻线;刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说,如量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。
仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯; 应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量; 用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本; 用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题; 增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;
表面微观不平深度测量范围:130?1nm 测量的重复性:sRa≤0.5nm 测量精度:8nm 物镜倍率:40X 数值孔径:0.65 仪器视场 目视:f0.25mm 摄象:0.13X0.13mm 仪器放大倍数 目视:500X 摄象(计算机屏幕观察):2500X 接收器测量列阵:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2nm
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