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JXA-8230 电子探针显微分析仪
可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。
产品规格:
检测元素范围
WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U
X射线检测范围
WDS检测的波长范围: 0.087~9.3nm,EDS EDS检测的能量范围: 20keV
分光谱仪数量
WDS: 1~5道可选、EDS: 1台
最大样品尺寸
100mm × 100mm × 50mm(H)
加速电压
0~30kV(以0.1 kV为步长)
束流电流范围
10-12 ~ 10-5 A
束流电流稳定度
5%/h, ±0.3%/12h(W)
二次电子分辨率
6nm(W), 5nm(LaB6)*2(W.D. 11mm, 30kV)
扫描倍率
×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm)
扫描图像分辨率
最大 5,120× 3,840
彩色显示器
EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024
光学显微镜
分辨率
~1um
焦深
1um
真空系统
机械泵、分子泵、离子泵 *2
真空度
样品室: 优于8.0 x 10-4Pa,电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa
产品特点:
· 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。
· 日本电子新开发出的EPMA (电子探针)秉承近半个世纪的EPMA的发展历史,JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析,这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。
·
· EPMA快速启动
· 点击任何一点,就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
· 用户菜单(User recipes)
· 能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件,菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。
· EDS 的性能
· 数字化脉冲处理器
· 全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)
· 无风扇SDD (选配)
日本JEOL 电子探针显微分析仪JXA-8230 , JXA-8230
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