PCE-3等离子清洗机

PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体，输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备，在射频电源的作用下，去除速率可达10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。PCE-3等离子清洗机配有一个真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗。

1、使用可调射频电源， 可以设置低、中、高功率。
2、桌上型设备，结构紧凑、操作安全、环境友好、低成本。

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