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GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
主要特点
1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效
果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
6、溅射头采用Peltier制冷技术,可得到高性能、精细颗粒的涂层。
7、可用水冷溅射头、水冷载物台。
技术参数
1、靶:Φ50mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、最大电流:50mA(100mA)
5、可设定最长时间:9999s
6、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
7、最高电压:1600V DC
8、机械泵:2L/s
产品规格
尺寸:360mm×300mm×380mm
标准配件
1、金靶材
2、进气针阀
3、保险丝
可选配件
金、铟、银、铂等各种靶材
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪,GSL-1100X-SPC-16M
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