GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得最佳镀膜效

   果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

6、溅射头采用Peltier制冷技术，可得到高性能、精细颗粒的涂层。

7、可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数

1、靶：Φ50mm

2、真空室：Φ160mm×120mm

3、最高真空度：≤4×10^-2mbar

4、最大电流：50mA（100mA）

5、可设定最长时间：9999s

6、微型真空气阀：连接Φ3mm软管

7、最高电压：1600V  DC

8、机械泵：2L/s

产品规格

尺寸：360mm×300mm×380mm

标准配件

1、金靶材

2、进气针阀

3、保险丝

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途