您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3000(A)带有14”立方形铝质腔体,3个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,我们提供不锈钢腔体,260 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:
· 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃
· 70或250l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
· 13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
· 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
· 带观察视窗的腔门易于上下载片
· 基于LabView软件的PC计算机控制
· 带密码保护功能的多级访问控制
· 完全的安全联锁功能
· 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项:
· 不锈钢腔体
· RF、DC溅射
· RF或DC偏压(1000V)
· 样品台可加热到700°C
· 膜厚监测仪
· 基片的RF射频等离子清洗
应用:
· 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
· 光学以及ITO涂覆
· 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
· 带RF射频等离子放电的反应溅射
NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统, NSC-3000 (A)
NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统信息由那诺-马斯特中国有限公司为您提供,如您想了解更多关于NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
磁控溅射系统:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到到8“旋转平台,支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
江苏大学的磁控溅射系统成功应用六周年,那诺-马斯特中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始,截止目前为止,该磁控溅射系统运行稳定正常。该系统给用户提供了RF溅射能力和DC直流溅射能力,可以支持金属溅射、导磁材料溅射,以及介质材料溅射和序列溅射,和反应溅射。该系统在客户的微纳工艺的应用方面提供了重要的作用,系统展现出快速溅射能力、高度的均匀性、高重复性和稳定性。NANO-MASTER那诺-马斯特的磁控溅射系统型号包含NSC-1000型单金属靶材的台式溅射系统,不
群组论坛--测试分析仪器专家
您可能要找:那诺-马斯特物理气相沉积(PVD)NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统价格 NSC-3000 (A)物理气相沉积(PVD)参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号