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低温等离子·经典桶型。
PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能
及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款
小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应
用途
● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计
规格:
型号
PR500
PR510
等离子模式
DP模式,桶形
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反应腔
石英Φ215×305mm
反应气体
2系统(O2/CF4)
控制
手动
触模屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438 x D520 x H760mm
参照规格书
重量
约60kg
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
YAMATO等离子清洗机PR500,PR500
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